2026/05/26
圖文引用自：tw.news.yahoo.com
日本精密儀器大廠 JEOL 宣布將於 2026 年 5 月推出整合雷射加工技術的全新掃描式電子顯微鏡「LazEdge」。這款設備結合了濱松光子的專利技術，能在顯微鏡內部直接進行大面積高速切割，大幅提升半導體失效分析與電池研發的效率。
日本精密儀器領導廠商 JEOL 宣布開發出配備雷射加工系統的全新掃描式電子顯微鏡（SEM）「LazEdge」，預計於 2026 年 5 月正式上市。這款創新設備整合了濱松光子（Hamamatsu Photonics K.K.）的專利雷射技術，讓研究人員能直接在電子顯微鏡的樣品室內進行雷射加工，打破傳統分析流程的限制。
在科學研究與工業領域中，製備樣品截面通常依賴聚焦離子束（FIB）系統，但面對大面積加工時往往緩慢且耗時。LazEdge 透過獨家的光學系統，能對雷射光束進行空間相位調製，在樣品室內實現高速、大面積且高品質的截面切割，顯著縮短了從加工到觀察的作業時間。
為了確保儀器精密度，JEOL 研發了專利的「LazEdge Shield」屏蔽技術。這項技術能有效防止加工過程中產生的碎屑散射，避免污染探測器、鏡筒及樣品室內壁。…
