2026/01/22
圖文引用自：ec.ltn.com.tw
有鑒於傳統光學檢測解析度不足，難以精準掌握半導體先進製程參數，經濟部標準局支持工研院量測技術發展中心開發X-ray關鍵尺寸量測技術，以精準掌握奈米級晶片的製程參數，展望未來，X-ray檢測技術仍是看好的趨勢，晶片從奈米發展至埃米、從平面往異質整合3D堆疊發展時，X光如同「3D透視眼」能量測到更微細、也更複雜多層的結構。
經濟部標準局今（21）日舉辦「精準量測技術支持產業、守護民生」記者會，展示我國在國家最高量測標準建置及創新研發的校正量測技術，展現「劃一度量衡，確保量測準確」成果。
標準局長陳怡鈴指出，為協助產業升級，標準局每年透過「國家度量衡標準實驗室」提供超過5000件標準校正服務，將最高量測標準傳遞至2200家校正檢測實驗室，支援各產業領域400萬件檢測服務，創造200億元檢測產值。
此外，國家度量衡標準實驗室持續開發先進校正量測技術應用，具體成果包括「開發奈米級量測技術」，有鑒於傳統光學檢測解析度不足，難以精準掌握製程參數，因此開發「X-ray關鍵尺寸量測系統」，協助晶片產業掌握關鍵尺寸，增進效能，並開發「SUPERSIZER線上監測系統」，如同「微粒獵人」，能識別極小尺寸污染物，確保材料純度，提升良率。
國家度量衡標準實驗室主任、量測技術發展中心執行長藍玉屏說明，當國內半導體大廠的先進製程走到領先地位時，就無法跟隨競爭對手的量測作法，X-ray檢測技術仍是未來看好的趨勢，不只是從2奈米製程到埃米製程，當晶片從平面往3D堆疊發展時，X光就是很好的工具，如同「3D透視眼」，事實上幾個國際大廠都在開發相關技術。
此外，機械類領域開發出「自校型溫度感測器」，可免拆機直接線上校正，由12天縮短為30分鐘；另研發「數位式線軌調校技術」，工具機傳統線軌組裝調校時間將由90分鐘縮短為30分鐘。…
